Currently there exists a large number of different methods for surface characterization. Each method has its specific positives and negatives. This article offers a view at reference surface imperfections of optical surfaces using different observation techniques: scanning confocal microscopy, white light interferometry (WLI) and atomic force microscopy (AFM). Purpose of this is as complex as possible view to morphology and topography of defects in three-dimensional scale and comparison with their optical properties. and V současné době existuje velké množství různých metod pro charakterizaci povrchů. Každá metoda má své klady i zápory. Tento článek nabízí pohled na referenční povrchové vady optických ploch pomocí různých pozorovacích technik, a to skenovací konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil. Účelem je co nejkomplexnější pohled na morfologii defektů v trojrozměrném měřítku a porovnání s jejich optickými vlastnostmi.
This paper presents the third version of ultrahigh vacuum, very slow electrons microscope, developed and manufactured at ISI CAS in Brno. This microscope is a unique tool for material analysis on the clean surfaces. Exceptional requirements for UHV component quality demonstrate the possibilities of precision manufacturing in the workshops and a collaboration of scientific departments at the institute. For instance, we can mention the electron beam welding of vacuum parts. and Článek představuje již třetí verzi ultravysokovakuového mikroskopu s velmi pomalými elektrony vyvinutého a vyrobeného v ÚPT AVČR v Brně. Tento mikroskop je světově unikátním zařízením umožňujícím experimenty na speciálně připravených površích pevných látek. Mimořádné požadavky kladené na technické zpracování dílů pro UHV demonstrují možnosti precizní výroby v dílnách ústavu i spolupráci vědeckých oddělení například při svařování dílů elektronovým svazkem.