Analýza referenčních povrchových vad optických ploch za použití konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil

Title:

Analýza referenčních povrchových vad optických ploch za použití konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil
Scratch and dig analysis of surface imperfections for Metis mirrors

Creator:

Špína, Michal, Procháska, František, Junek, Jiří, and Malá, Kristýna

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:0073b29f-ce49-4057-aee5-c82d97e84ce5
uuid:0073b29f-ce49-4057-aee5-c82d97e84ce5

Subject:

surface imperfection, scratch and dig analysis, optical surface evaluation, MIL-O-13830, scratch and dig standard, confocal microscopy, scanning microscopy, scratch and dig calibration, povrchové vady, scratch and dig analýza, hodnocení optického povrchu, konfokální mikroskopie, skenovací mikroskopie, and scratch and dig kalibrace

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Currently there exists a large number of different methods for surface characterization. Each method has its specific positives and negatives. This article offers a view at reference surface imperfections of optical surfaces using different observation techniques: scanning confocal microscopy, white light interferometry (WLI) and atomic force microscopy (AFM). Purpose of this is as complex as possible view to morphology and topography of defects in three-dimensional scale and comparison with their optical properties. and V současné době existuje velké množství různých metod pro charakterizaci povrchů. Každá metoda má své klady i zápory. Tento článek nabízí pohled na referenční povrchové vady optických ploch pomocí různých pozorovacích technik, a to skenovací konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil. Účelem je co nejkomplexnější pohled na morfologii defektů v trojrozměrném měřítku a porovnání s jejich optickými vlastnostmi.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

81-84

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2018 Volume:63 | Number:3

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false