1 - 2 of 2
Number of results to display per page
Search Results
2. Určení tloušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti pomocí nové varianty obálkové metody
- Creator:
- Luňáčková, Milena, Luňáček, Jiří, Potůček, Zdeněk, and Hlubina, Petr
- Format:
- bez média and svazek
- Type:
- model:article and TEXT
- Subject:
- spectral reflectance, thin-film, envelope method, absorption, spektrální odrazivost, tenká vrstva, obálková metoda, and absorpce
- Language:
- Czech
- Description:
- This paper deals with an alternative method to determine the thickness of a thin film on a substrate. A linear relation between the thin-film thickness and the wavelength of the reflectance spectrum tangent to the envelope function for specific interference order is revealed in a wide wavelength range. This relation enables the calculation of the thickness provided that the wavelength-dependent optical parameters of the thin film and the substrate are known. The methods allow to calculate the thickness from the reflectance spectrum in a narrow range close to one extreme only as demonstrated both theoretically and experimentally for Sio2 thin-films on Si substrates. The results are discussed for two wavelength ranges and compared with those obtained by the algebraic fitting method. and Práce prezentuje metodu určení tloušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti s využitím nové varianty obálkové metody. Byl nalezen lineární vztah mezi vlnovou délkou tečny spektrální odrazivosti k obálkové funkci a odpovídající tloušťkou tenké vrstvy pro daný interferenční řád v širokém spektrálním oboru. Tento lineární vztah umožňuje výpočet tloušťky vrstvy na základě známých spektrálních optických parametrů vrstvy a podložky. Metoda umožňuje výpočet tloušťky ze znalosti pouze malé části spektra v okolí jednoho extrému, jak je demonstrováno teoreticky a experimentálně na systému SiO2 - Si. Výsledky jsou porovnány s hodnotami, získanými algebraickou fitovací metodou.
- Rights:
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ and policy:public