Vliv použitého modelu odrazivosti na určení velikosti tloušťky tenké vrstvy

Title:

Vliv použitého modelu odrazivosti na určení velikosti tloušťky tenké vrstvy
Effect of the reflectance model on determination of the thinfilm thickness

Creator:

Luňáčková, Milena, Luňáček, Jiří, Ciprian, Dalibor, and Hlubina, Petr

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:acf0fe1e-f3d4-4ee8-ac59-9f8173c60f37
uuid:acf0fe1e-f3d4-4ee8-ac59-9f8173c60f37

Subject:

Fresnel’s formulas, spectral reflectance, thin-film structure, dispersion, Fresnelovy vztahy, spektrální odrazivost, tenká vrstva, and disperze

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

This paper presents the effect of various reflectance models of the thin-film structure system on determination of the thin-film thickness. A special program was created in software package Matlab, which is able to calculate theoretical spectral reflectance in selected wavelength interval for the certain thin-film thickness. Afterwards, this reflectance, which simulates experimental reflectance during the following study, is processed by other program in Matlab. In this way the simulated reflectance is fitted to theoretical one with thin-film thickness as fitted parameter. Different combinations of optical parameters - dispersive and non-dispersive - for the thin-film structure system can be used as the input for the program files in the fitted reflection spectrum. Finally, the effect of reflectance models on the value of the thin-film thickness is discussed. and Práce prezentuje vliv použití různých modelů odrazivosti systému tenká vrstva - podložka na vypočtení tloušťky tenké vrstvy. V prostředí Matlabu je vytvořen program, který pomocí obecného modelu vypočte teoretický průběh spektrální odrazivosti v závislosti na vlnové délce pro zvolenou tloušťku tenké vrstvy. Takto vypočtená odrazivost, která v další fázi studia simuluje naměřenou odrazivost, je zpracována dalším programem v Matlabu, který simulované (naměřené) reflexní spektrum fituje spektrem teoretickým, kde fitovaným parametrem je tloušťka vrstvy. Ve vstupních souborech fitovaného teoretického reflexního spektra jsou použity různé kombinace disperzních a nedisperzních optických parametrů systému tenká vrstva - podložka a je sledován jejich vliv na hodnotu vypočtené tloušťky tenké vrstvy.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

293-295

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2008 Volume:53 | Number:11-12

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false