Using a physico-statistical model of the formation of slime particles of workpiece material in polishing and a cluster model of wear, the formation accuracy of flat optical surfaces and the wear uniformity of the tool working layer have been analyzed. The results are given of the experimental verification of the calculated values of the polishing efficiency, tool wear rate, and the shape accuracy of the interacting tool and workpiece surfaces. and Užitím fyzikálně-statistických metod je analyzováno vytváření kalových částic z obrobku během leštění a klastrový model opotřebení, dosažení přesnosti rovných optických povrchů a rovnoměrnost opotřebení pracovní vrstvy nástroje. Výsledky jsou experimentálním ověřením vypočtených hodnot účinnosti leštění, rychlosti opotřebení nástroje a profilu přesnosti interagujícího nástroje a povrchů obrobku.