1 - 2 of 2
Number of results to display per page
Search Results
2. Studium struktury a růstu nízkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu
- Creator:
- Mates, Tomáš, Fejfar, Antonín, Drbohlav, Ivo, Rezek, Bohumil, Fojtík, Petr, Luterová, Kateřina, Pelant, Ivan, and Kočka, Jan
- Format:
- print, bez média, and svazek
- Type:
- model:article and TEXT
- Subject:
- optoelektronika, transportní jevy, křemík, optoelectronics, transport processes, silicon, 6, and 53
- Language:
- Czech
- Description:
- Hydrogenizovaný mikrokrystalický křemík představuje širokou škálu materiálů s rozmanitou strukturou a vlastnostmi závislými na depozičních parametrech. V současnosti se věnuje pozornost vrstvám připraveným za velmi nízkých teplot (~ 80 °C), což je podmínkou výroby levných slunečních článků na plastových substrátech. I při takto nízké teplotě lze připravit kvalitní protokrystalické vrstvy (na hranici mezi amorfním a mikrokrystalickým růstem) pro sluneční články s vysokou účinností. V této práci se zabýváme vlivem tloušťky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev protokrystalického křemíku. Pro popis růstu mikrokrystalických zrn předkládáme jednoduchý geometrický model, jehož výsledky srovnáváme s naměřenými topografiemi reálných vzorků. Dále ukážeme vliv zrn na transportní vlastnosti tenkých křemíkových vrstev a naznačíme možné chování těchto vrstev při dalším snižování depoziční teploty., Tomáš Mates, Antonín Fejfar, Ivo Drbohlav, Bohumil Rezek, Petr Fojtík, Kateřina Luterová, Ivan Pelant, Jan Kočka., and Obsahuje seznam literatury
- Rights:
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ and policy:public