Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle

Title:

Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle
Measurement of the thickness of SiO2 thin film on the silicon substrate using white-light spectral interferometry

Creator:

Chlebus, Radek, Hlubina, Petr, Ciprian, Dalibor, Luňáček, Jiří, and Lesňák, Michal

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:a73aa2f6-e26a-4710-a5e7-c71373f81323
uuid:a73aa2f6-e26a-4710-a5e7-c71373f81323

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

The article deals with white-light spectral interferometry used for measuring the thickness of SiO2 thin films on a silicon substrate. A slightly dispersive Michelson interferometer with a cube beam splitter and a fibre optic spectrometer are used when one of the interferometer mirrors is replaced by the SiO2 thin film on the silicon wafer. Thickness of the SiO2 thin film is determined by comparison of recorded spectral interferogram with theoretical one provided that the optical constants for materials involved in the structure are known. This method was applied for the thickness determination of four SiO2 thin-film samples. and Článek se zabývá využitím spektrální interferometrie v bílém světle pro měření tloušťky tenkých vrstev SiO2 na křemíkovém substrátu. Využívá se mírně disperzního Michelsonova interferometru s polopropustným zrcadlem ve tvaru kostky a vláknově optického spektrometru pro záznam interferogramů, kdy jedno ze zrcadel interferometru je nahrazeno křemíkovou deskou s tenkou vrstvou SiO2. Tloušťku tenké vrstvy SiO2 určujeme porovnáním zaznamenaného spektrálního interferogramu s interferogramem teoretickým za předpokladu znalosti optických konstant tenké vrstvy a substrátu. Tuto metodu jsme využili pro určení tloušťky čtyř vzorků s SiO2 tenkou vrstvou.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

13-16

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2007 Volume:52 | Number:1

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false