Research and development of interferometric systems for coordinate and multiaxis measuring are the goal of a common collaborative project involving the Institute of Scientific Instruments, Czech Academy of Sciences and Meopta - optika, s.r.o. The common effort is oriented to applications with the highest demands for precision in the dimensional metrology and nanometrology. The concept of the system represents a modular family of components configurable for various arrangements especially for coordinate measurements in nanotechnology and measurement of topography of surfaces. Meopta - optika, s.r.o. contributes to the project through development of new technology of production of optical components. We present here compact interferometric units designed for measurement by reflection from flat mirror. and Výzkum a vývoj interferometrických odměřovacích systémů pro souřadnicové a víceosé odměřování je náplní společného projektu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republiky, v.v.i. a podnik Meopta - optika, s.r.o. Společné snažení směřuje k aplikacím s nejvyššími nároky na přesnost v dimenzionální metrologii a nanometrologii. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponent konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologiích a měřeních topografie povrchů. Meopta - optika, s.r.o. přispívá především vývojem nové technologie výroby optických prvků rovinné optiky. Zde prezentujeme kompaktní interferometrické jednotky navržené pro interferometrické měření odrazem od rovinného zrcadla.