Souřadnicové a víceosé interferometrické systémy

Title:

Souřadnicové a víceosé interferometrické systémy
Coordinate and multi-axis interferometric systems

Creator:

Lazar, Josef, Holá, Miroslava, Hrabina, Jan, Oulehla, Jindřich, Číp, Ondřej, Vychodil, Miloslav, Sedlář, Petr, and Provazník, Milan

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:e5773a4e-5a0e-406a-a72d-f6cc375ed499
uuid:e5773a4e-5a0e-406a-a72d-f6cc375ed499

Subject:

interferometry, dimensional metrology, nanometrology, interferometrie, dimenzionální metrologie, and nanometrologie

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Research and development of interferometric systems for coordinate and multiaxis measuring are the goal of a common collaborative project involving the Institute of Scientific Instruments, Czech Academy of Sciences and Meopta - optika, s.r.o. The common effort is oriented to applications with the highest demands for precision in the dimensional metrology and nanometrology. The concept of the system represents a modular family of components configurable for various arrangements especially for coordinate measurements in nanotechnology and measurement of topography of surfaces. Meopta - optika, s.r.o. contributes to the project through development of new technology of production of optical components. We present here compact interferometric units designed for measurement by reflection from flat mirror. and Výzkum a vývoj interferometrických odměřovacích systémů pro souřadnicové a víceosé odměřování je náplní společného projektu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republiky, v.v.i. a podnik Meopta - optika, s.r.o. Společné snažení směřuje k aplikacím s nejvyššími nároky na přesnost v dimenzionální metrologii a nanometrologii. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponent konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologiích a měřeních topografie povrchů. Meopta - optika, s.r.o. přispívá především vývojem nové technologie výroby optických prvků rovinné optiky. Zde prezentujeme kompaktní interferometrické jednotky navržené pro interferometrické měření odrazem od rovinného zrcadla.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

63-65

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2016 Volume:61 | Number:3

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false