In this work, we summarize existing methods of sub-surface damage measurement, also a new method along with its initial results is presented. The method is based on the measurement of the scattered laser light intensity. For calibration purposes, an empiric relationship between the integral intensity of scattered light and sub-surface damage depth (determined from surface roughness) is established first. For a trial sample, sub-surface damage depth values determined either from surface micro-roughness or by our method are compared. and V této práci shrnujeme dostupné metody měření hloubky podpovrchového poškození a představujeme návrh nové metody společně s prvními výsledky. Metoda je založena na měření intenzity rozptýleného laserového záření. Pro kalibraci metody je nejprve určena empirická závislost mezi integrální intenzitou rozptýleného záření a hloubkou podpovrchového poškození stanovenou z mikrodrsnosti povrchu. Pro zkušební vzorek je pak porovnána hloubka podpovrchového poškození stanovená z mikrodrsnosti povrchu s naší metodou.