This article deals with modification and renovation of the ellipsometer Gaertner L119 and its using for thin-film structures study. The measurement process is fully automatized. The device works at constant wavelength in PCSA null regime and the data are obtained for various angles of incidence. The system was tested on a set of SiO2 thin-films prepared on Si single crystal wafers by thermal oxidation at 1200°C. The thicknesses obtained from experiment were compared with the results obtained by using of Yamaguchi type spectral ellipsometric system as well as with the data determined from white-light interferometry and spectral reflectometry. and Předložená práce se zabývá popisem úprav a modernizace elipsometru Gaertner L119 a jeho využitím pro studium tenkých vrstev s automatizovaným režimem měřicího procesu. Zařízení se využívá jako nulovací elipsometr v konfiguraci PCSA pro měření na jedné vlnové délce při různých úhlech dopadu. K testování přístroje byla provedena měření tloušťky vrstev SiO2 připravených termickou oxidací na monokrystalických křemíkových deskách při teplotě 1200 °C. Naměřené tloušťky byly porovnány jednak s výsledky měření na spektrálním elipsometru systému Yamaguchi a také s interferometrickými a reflektometrickými měřeními v bílém světle.
The paper is focused on refractive index measurement of liquids by surface plasmon resonance (SPR). There are presented two variants of experimental setup. Functionality of experimental arrangement was analyzed by two steps, the first approach was realized by variously concentrated NaCl water solutions and the second one has been done by the change of water temperature. and Článek je věnován měření změn indexu lomu kapalin využitím metody rezonance povrchových plasmonů (Surface Plasmon Resonance - SPR), realizovanému na našem pracovišti. Jsou zde představeny dvě varianty experimentálního uspořádání. Funkčnost obou zařízení a relevance měřených hodnot byla nejprve ověřena souborem měření na různě koncentrovaných roztocích NaCl ve vodě. Poté byla metoda SPR aplikována na studium změn reflektivity při použití vody proměnné teploty.