In this study we have used scanning electron microscopy and atomic force microscopy (SEM and AFM) for evaluation and measurement of solar cell surfaces micro-geometry. SEM allowed to study large areas of the solar cells with considerable surface roughness (more than 10 μm) while AFM was carried out on relatively smooth areas, but it is truly 3D measurement. Currently, probe methods are more applicable for studying solid materials surfaces. AFM is a 3D surface morphology technique that provides quantitative information about surfaces, and characterizes roughness of the surface, and sizes of morphological features, such as grains. and Práce se zabývá měřením a vyhodnocením mikrogeometrického reliéfu povrchu monokrystalického a polykrystalického solárního článku. K měření povrchu byla využita skenovací elektronová mikroskopie SEM a mikroskopie atomárních sil AFM. Metoda SEM umožňuje snímat velké plochy solárních článků se značnou drsností povrchu a metoda AFM byla použita na poměrně hladké plochy, nicméně se jednalo o skutečné 3D měření. Metody využívající snímací sondy se používají pro studium povrchů pevných látek. AFM umožňuje 3D mapování povrchového reliéfu a poskytuje kvantitativní informace o povrchu, dokáže charakterizovat jeho drsnost a další morfologické charakteristiky, jako například zrnitost.
This study concerns the comparison of possibilities of SPM and SEM techniques for characterization of solar cells. Advanced characterization of optoelectronic devices demands several microscopic techniques based on different physical principles with nano- and micro-meter resolution in order to localize nanosize features of device structure. SPM and SEM illustrate surface texturization at micro- and nano-scale, and thus are powerful instruments of nanotechnology. and Zvyšování kvality a účinnosti nových měřicích metod přispívá k pokročilé charakterizaci optoelektronických součástek a zařízení. Tyto metody využívají pro přesnější zkoumání vlastností struktur několik mikroskopických technik, které jsou založeny na fyzikálních principech ovlivněných nano a mikrorozměry zařízení. Tato studie porovnává možnosti SPM a SEM metod pro charakterizaci solárních článků. Metody SPM a SEM znázorňují povrchovou strukturu v mikro a nanoměřítku, a tudíž jsou silným nástrojem nanotechnologie.