Optimalizace tvrdosti nanokompozitů nc-(Tix Al1-x)N/a-Si3 N4 připravovaných technologií nízkonapěťového oblouku s využitím rotačních válcových katod

Title:

Optimalizace tvrdosti nanokompozitů nc-(Tix Al1-x)N/a-Si3 N4 připravovaných technologií nízkonapěťového oblouku s využitím rotačních válcových katod
Optimization of nc-(Tix Al1-x)N/a-Si3 N4 nanocomposites hardness deposited by low voltage arc using technology of rotary cylindrical cathodes

Creator:

Jílek, Mojmír, Šíma, Michal, and Zindulka, Ondřej

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:8d3dfa1c-d269-4cbc-8b09-e194101ad6c0
uuid:8d3dfa1c-d269-4cbc-8b09-e194101ad6c0

Subject:

precision mechanics, přesná mechanika, nc-nanokompozit, TiAlSiN, nízkonapěťový oblouk, and PVD

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Industrial application of nanocomposites dates back to 1996, however despite the effort put in since then, their potential is far from being exploited. Next to already published influence of deposition temperature and partial pressure of nitrogen, other key variables were suggested by Prof. Vepřek, who clarified their importance/ influence in terms of hardness and stability of mainly TiSiN composites. Based on his papers and recommendations, we studied an influence of optimal content of silicon and oxygen on hardness of nc-(Tix Al1-x)N/ a-Si3 N4 coating, which was deposited from rotary cylindrical cathodes using low voltage arc. and Průmyslové nasazení nanokompozitů se datuje už do roku 1996, nicméně navzdory od té doby vynaloženému úsilí, nebyl jejich potenciál zdaleka vyčerpán. Vedle již publikovaných vlivů depoziční teploty a parciálního tlaku dusíku, byly prof. Vepřkem navrženy další klíčové veličiny a objasněn jejich význam na tvrdost a stabilitu, především TiSiN kompozitů. Na základě jeho článků a doporučení byl studován vliv optimálního obsahu křemíku a vliv obsahu kyslíku na tvrdost vrstvy nc-(Tix Al1-x)N/ a-Si3 N4 , resp. nc-(Crx Al1-x)N/ a-Si3 N4 deponované z rotačních válcových katod s využitím nízkonapěťového oblouku.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

195-199

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2010 Volume:55 | Number:7-8

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false