Metoda kvantitativního vyhodnocování interferenčního pole pomocí korelace mezi měřeným a virtuálním interferogramem

Title:

Metoda kvantitativního vyhodnocování interferenčního pole pomocí korelace mezi měřeným a virtuálním interferogramem
Method of quantitative evaluation of interference field using correlation between measured and virtual interferograms

Creator:

Novák, Jiří, Novák, Pavel, Mikš, Antonín, and Pokorný, Petr

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:18a49a10-433b-4838-aaf4-ba1c1d181b04
uuid:18a49a10-433b-4838-aaf4-ba1c1d181b04

Subject:

optical metrology, interferometry, surface topography, evaluation methods, optimization, correlation, optická metrologie, interferometrie, měření tvaru ploch, vyhodnocovací metody, optimalizace, and korelace

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

This work describes a quantitative evaluation of interference patterns applied for testing of optical surfaces. The proposed method is based on the correlation between measured and virtual (nominal) interferograms and employment of mathematical nonlinear optimization. In contrast to most of common phase evaluation methods the proposed method does not need a detailed analysis of the interference patterns and phase unwrapping. The deviation of the measured surface from its nominal shape is modeled using a suitable function with unknown parameters, which are calculated by optimization of the merit function. The merit function is the correlation coefficient between measured and nominal interferogram, which characterizes the similarity of both interferograms. The functionality of the method was verified both by computer simulations and practical experiments. The method is applicable for the interferometric testing of flat, spherical and aspherical surfaces. and V práci je popsána metoda kvantitativního vyhodnocování interferenčního pole při kontrole tvaru optických ploch. Navržená metoda využívá korelace mezi měřeným a virtuálním (nominálním) interferogramem a matematických metod nelineární optimalizace. Na rozdíl od většiny běžně používaných metod nevyžaduje navržená metoda detailní analýzu interferenčního pole a odstranění nespojitostí fázových hodnot (tzv. phase unwrapping). Odchylka kontrolované plochy od jejího nominálního tvaru je modelována pomocí vhodné funkce s neznámými parametry, které jsou získány optimalizací meritní funkce. Za meritní funkci je zvolen korelační koeficient mezi měřeným a virtuálním (nominálním) interferogramem, který charakterizuje podobnost obou interferogramů. Funkčnost metody byla ověřena jak pomocí počítačových simulací, tak i na reálných případech měření. Metoda je použitelná pro interferometrickou kontrolu rovinných, sférických i asférických ploch.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

219-223

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2015 Volume:60 | Number:7-8

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false