Polohovací techniky využívané v rámci sub-aperturní sešívací interferometrie aplikované na šestiosý polohovací systém

Title:

Polohovací techniky využívané v rámci sub-aperturní sešívací interferometrie aplikované na šestiosý polohovací systém
Positioning techniques for sub-aperture stitching interferometry applied on six degrees of freedom positioning system

Creator:

Kredba, Jan and Psota, Pavel

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:0c368f26-a87e-46b5-b374-56c5d365d6b2
uuid:0c368f26-a87e-46b5-b374-56c5d365d6b2

Subject:

sub-aperture stitching interferometry, metrology, sub-aperture lattice, positioning systems, inverse kinematic, sub-aperturní sešívací interferometrie, metrologie, sub-aperturní mřížka, polohovací systémy, and inverzní kinematika

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Sub-aperture stitching interferometry enables to divide measured optical surface into several sub-apertures that can be measured separately in contrast with classic full-aperture interferometry. Using this method, it is possible to measure optical surfaces with high numerical aperture or aspherical surfaces with conventional interferometers. In the measurement process sub-apertures are sequentially reached by focusing output beam from interferometer to defined positions on the measured surface. Different kinematic structures with highly accurate measurement systems, that enable proper positioning of measured surface, are used for this purpose. In this paper, optimal mathematical representation of suitable positioning system for sub-aperture stitching interferometry, in the way of highly accurate result with minimum computational demands, is described. Paper especially focuses on forward and inverse kinematic of the system together with proper design of sub-aperture lattice structure, that defines position of each sub-aperture. and Sub-aperturní sešívací interferometrie, na rozdíl od klasické celo-aperturní, umožňuje rozložit měřenou optickou plochu na více separátně měřitelných sub-apertur. Díky tomu lze významným způsobem rozšířit využitelnost konvenčních interferometrů pro měření optických ploch o velké numerické apertuře či významné asféricitě. Sub-apertur je v průběhu měření postupně dosahováno fokusací laserového svazku vystupujícího z interferometru do přesně definovaných míst optické plochy. K tomuto účelu jsou využívány různé kinematické struktury s velmi přesnými odměřovacími systémy. Předmětem tohoto příspěvku je optimální matematická reprezentace polohovacího systému, využitelného pro sub-aperturní sešívací interferometrii, s ohledem na nízké výpočetní nároky. Článek se zabývá především přímou a inverzní úlohou kinematiky společně s návrhem sub-aperturní mřížky, definující polohy jednotlivých sub-apertur měřené optické plochy.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

206-211

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2018 Volume:63 | Number:7-8

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false