X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) is a well established technique which cannot be omitted in any surface and thin film laboratory. We report on construction of an automated sample manipulator which enables sample positioning in three axis and sample rotations in polar and azimutal angles. The automatization enables an easy obtaining of angle resolved data or X-ray photoelectron diffractograms. and Rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS) je zavedenou metodou v laboratořích pro výzkum povrchů a tenkých vrstev. V článku je uvedena konstrukce automatizovaného manipulátoru, který umožňuje posun vzorku ve třech osách a jeho rotaci v polárním a azimutálním úhlu. Tímto systémem mohou být snadno získána data z úhlově závislých měření nebo rentgenové fotoelektronové difraktogramy.
In the contribution the results on the combination of ion sputtering and scattering processes for achieving enhanced complementary information on the analyzed multilayer are reported. Physical background of ion-solid interactions is discussed. Specifically, the combination of SIMS and TOF-LEIS techniques will be introduced. and V tomto článku je diskutována problematika interakce iontů s pevnou látkou. Podrobněji je diskutována možnost využití mechanických vlastností iontů k analýze 2D nanostruktur (vrstev s tloušťkou v jednotkách nanometrů) pomocí metod SIMS a TOF-LEIS.
Theoretical basics of thermal desorption spectroscopy and its realization in the Surfaces and Thin Films Laboratory is presented. As an example of application of this method a study of contamination of Si wafer is reported. and V článku jsou prezentovány teoretické základy termální desorpční spektroskopie a její aplikace ve výzkumu povrchů a tenkých vrstev. Jako příklad použití metody je uvedena studie kontaminace Si desek.