Search

Start Over Coverage 331-341

2. Periodické mikrostruktury I: Strukturování elektromagnetickým zářením

Creator:
Bittner, Michal, Juha, Libor, and Vacík, Jiří
Format:
print, bez média, and svazek
Type:
model:article and TEXT
Subject:
fyzika, elektromagnetické záření, lasery, physics, electromagnetic radiation, lasers, 6, and 53
Language:
Czech
Description:
První část článku obsahuje přehled periodických struktur s prostorovou periodou řádu mikrometrů (mluvíme o mikrostrukturách) či jejich zlomků (pokud mají prostorovou periodu kratší než 100 nm, můžeme již mluvit o nanostrukturách) vznikajících spontánně na površích vystavených působení laserových svazků. Z nespontánních periodických mikrostruktur (struktur připravených "na přání“, kdy je periodicita na povrch přímo vnášena z vnějšku) zmíníme jen ty, vytvořené pomocí interference laserového nebo synchrotronního záření. Nebudeme se zabývat strukturováním povrchů přenosem strukturního motivu z masky nebo jejich řádkováním energetickým mikrosvazkem či hrotem sondy řádkovacího mikroskopu. Tradiční mikrolitografické techniky [1]-[4] i novější a méně běžné postupy [5]-[7] byly již podrobně popsány v řadě monografií [1]-[5], a to i v češtině [4], [5]. Srovnání zmíněných metod nalezne čtenář v Šikolově úvaze, otištěné nedávno v tomto časopise [8]. V navazující, druhé části článku přehled doplníme o mikrostruktury vytvářené iontovými svazky. Třetí, závěrečná část pojednává o strukturách vznikajících spontánně na různých površích následkem chemických reakcí a fázových přeměn provázejících přenos hmoty a tepla v soustavě., Michal Bittner, Libor Juha, Jiří Vacík., and Obsahuje seznam literatury
Rights:
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ and policy:public