Konstrukce a aplikace disociačního termálního zdroje svazků atomů vodíku

Title:

Konstrukce a aplikace disociačního termálního zdroje svazků atomů vodíku
Design and application of thermal dissociation atomic hydrogen source

Creator:

Mach, Jindřich, Potoček, Michal, Kolíbal, Miroslav, and Šikola, Tomáš

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:c5bb768d-61b6-4c37-a238-7eec52c61074
uuid:c5bb768d-61b6-4c37-a238-7eec52c61074

Subject:

hydrogen, thermal dissociation, atom source, atomic hydrogen beam, vodík, disociace, termální atomární zdroj, and svazek atomů vodík

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

The design and construction of a thermal dissociation source for generation of hydrogen atomic beams with thermal energy (0.1 - 1 eV) will be described. The main application areas of presented source covers: low-temperature cleaning of surfaces and ultrathin films, preparation of hydrogen passivated surfaces, and hydrogen assisted molecular beam epitaxy. The hydrogen molecules were dissociated in a tungsten capillary heated by electron bombardment. The properties (profile, dissociate) of these atomic source were measured by a quadrupole mass spectrometer in the differentially pumped chamber., Článek popisuje návrh a konstrukci termálního disociačního zdroje poskytujícího svazky atomů vodíku o termální energii (0,1 - 1 eV). Zdroj pracuje v UHV podmínkách a je primárně určen k následujícím aplikacím: nízkoteplotní čištění povrchu a ultratenkých vrstev, příprava vodíkem pasivovaných povrchů a molekulární svazková epitaxe s asistencí vodíkových atomů. Molekuly vodíku byly disociovány na vnitřním povrchu wolframové kapiláry, která byla žhavena dopadem urychlených elektronů. Vlastnosti tohoto zdroje byly studovány užitím kvadrupólového hmotnostního spektrometru umístěného v diferenciálně čerpané UHV komoře., and obrázky 2, 3, 4, 5, 6 a 7 jsou uvedeny na 2. straně obálky v barevném provedení

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

163-164

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2010 Volume:55 | Number:6

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false