Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku

Title:

Vytváření jemných otvorů do křemenného skla pomocí elektronového svazku
Creation of fine holes into quartz glass by electron beam

Creator:

Dupák, Libor, Dupák, Jan, and Zobač, Martin

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:7d06a900-9673-46b2-b6bc-b7873aa4b927
uuid:7d06a900-9673-46b2-b6bc-b7873aa4b927

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

This paper shows possibilities of micromachining by pulse electron beam for creation of fine holes into quartz glass. The influence of different parameters of electron beam (such as beam current, focus, pulse duration) is demonstrated. Accelerating voltage of 50 kV, beam current of 0.1 - 1 mA and pulse duration of 15 - 150 ms was applied. Diameter of created holes ranged from 101 μm to 100 mm on incident side and from 100 to 101 μm on the opposite side (disc thickness 0.7 mm).

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

10-12

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2006 Volume:51 | Number:1

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false